臭氧发生器厂家产生臭氧的方法有很多种，比如：紫外线照射法，电解法，放射化学法和介质阻挡放电法等；紫外线照射法利用紫外线照射干燥的氧气，使得一部分氧分子被激活离解成氧原子，进而形成臭氧；在紫外线照射氧气的过程中，既有使氧变成臭氧的光波；也有使臭氧分解的光波，所以臭氧的产量将取决于产生臭氧的波长和分解臭氧波长的比值，紫外照射法产生臭氧的缺点是能耗高，臭氧浓度低；所以紫外线照射法用于大量生产臭氧是不能实现的，臭氧发生器厂家也不使用这种方法产出臭氧。
还有很多方法可以尝试，比如电解法，电解法利用直流电源电解含氧电解质产生臭氧，八十年代以前，电解液多为水内填加酸，盐类电解质，电解面积比较小，臭氧产量低。近年来电解机理及过程方面的大量研究，电解法制臭氧技术有了很大的进步,但单位产量不高，成本较高等因素还是限制着电解法臭氧发生器的批量生产。
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