根据目前的技术水平，臭氧的生产原料分为空气、纯氧气、液氧三种。
采用液氧一般适用于中小规模(臭氧量<100g/h)，采用变压吸附法或负压吸附法现场制取纯氧，适用于臭氧量>100g/h的规模。利用干燥空气制取臭氧获得的臭氧浓度一般在1%～3%；而利用纯氧或液氧生产的臭氧浓度可达10%左右，而且空气制取臭氧的电耗约为另外两种方法的2倍。
臭氧发生器的氧化消毒特性：
①臭氧作为高效的无二次污染的氧化剂，是常用氧化剂中氧化能力最强的，其氧化能力是氯的2倍。
②臭氧消毒受pH值、水温及水中含氨量影响较小。
③臭氧去除微生物、水草、藻类等有机物的嗅、味，效果良好，脱色能力比Cl2和ClO2更为有效和迅速。
④投加臭氧能改变小粒径颗粒表面电荷的性质和大小，使带电的小颗粒聚集；同时臭氧发生器氧化溶解性有机物的过程中，还存在“徽絮凝作用”，对提高混凝效果有一定作用。
⑤臭氧消毒效果好，剂量小，作用快，不产生三氯甲烷等有害物质，同时还可使水具有较好的感官指标。
⑥臭氧能将水中不易降解的大分子有机物氯化分解为小分子有机物，并向水中充氧使水中溶解氧增加，为后续处理（特别是生物处理）提供了更好的条件。?
为了避免生成三氯甲烷难以去除，在原水腐殖质、藻类、酚含量高的水厂，建议使用臭氧进行预处理。水处理中采用臭氧消毒要比采用ClO2成本略高，但从水质来讲，采用臭氧发生器要比采用ClO2好。就经济水平而言，这两种改进水质的方法都是可以接受的，各水厂可以根据具体情况采用相应的措施。
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